金融界2025年4月10日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司取得一项名为“一种法拉第筒组件及工艺腔室”的专利，授权公告号CN 222734927 U，申请日期为2024年4月。专利摘要显示，本申请公开了一种法拉第筒组件及工艺腔室，法拉第筒组件包括：第一筒件，设置于所述工艺腔
